激發輻射的散射將影響樣品中元素的特征輻射強度，這是由于散射過程將影響光譜的背景。此外，還存在兩個主要的效應：樣品中激發輻射被吸收和由此產生的或由其他元素（基體）發射的熒光輻射及樣品中其他元素的次級激發（增強）。

　　臺式能量色散X射線熒光光譜儀樣品中測試元素的特征譜線的強度會受到其它元素的干擾，典型的干擾如下：

　　1、逃逸峰

　　逃逸峰的產生機理：進入硅檢測器的X熒光如果其能量比硅的吸收限（1.74KeV）高，那么該入射X熒光會激發出新的硅X熒光，當部分硅的X熒光逃逸出監測器時，探測器只能探測到原入射X熒光損失了1.74KeV之后的能量，從而形成逃逸峰。

　　2、和峰

　　和峰的產生機理：當多束X熒光在幾乎同一時間射入檢測器時，這些射線的能譜累積處會出現和峰，檢測器會將其誤判為另外一種元素的特征射線。在針對RoHS禁用物質的檢測中，如果鉛大量存在，那么，在Pb-Lb1、Pb-Lα線累積并加倍的位置會出現一個和峰，該峰于Cd的能譜位置重疊，對元素Cd的測定產生影響。

　　3、As對Pb的影響

　　在對RoHS禁用物質的檢測中，Pb-Lα線和As-Kα線有重疊，因此，在樣品中含有大量元素As時，會對元素Pb的測定結果產生影響。

　　4、高Br對Pb的影響

　　當樣品中含有大量Br的時候，會把相鄰的Pb、Lb峰蓋住或抬高,則影響到元素Pb的測定結果。